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Intel、ASML宣布量产100万片High NA EUV晶圆:还要破除最大死穴

驱动之家·2026/9/8 12:36:00🔗 原文

📋总体概括

Intel与ASML联合宣布High NA EUV光刻技术已累计量产100万片晶圆,成为该技术的重要里程碑。ASML此前公布全球总量为135万片,意味着其中大部分由Intel贡献,主要用于提前两年导入High NA EUV的18A工艺;其余约35万片来自台积电、三星、SK海力士的测试与小规模生产。目前全球4家客户共投入10台High NA EUV光刻机,另有3台在途安装。双方还宣布合作开发6x12英寸大尺寸光罩,计划2031年试产、2033年量产,以破解视场减半导致芯片面积上限仅约429mm2、无法支撑大型AI芯片的关键瓶颈。

关键信息

  • Intel与ASML宣布High NA EUV已量产100万片晶圆,主要来自Intel的18A工艺,比原定14A导入计划提前约2年
  • ASML公布全球High NA EUV晶圆总量为135万片,其余约35万片来自台积电、三星、SK海力士的测试及小规模生产
  • 全球目前4家客户投入10台High NA EUV光刻机,另有3台系统正在出货安装
  • 双方合作开发6x12英寸High NA EUV光罩,计划2031年试产、2033年量产
  • 当前High NA EUV视场减半使芯片理论面积上限降至约429mm2,无法满足高性能AI芯片需求,大光罩成为破局关键

🔥犀利点评

100万片晶圆听着风光,但拆开看就是Intel一家在扛旗,台积电、三星还在试探性打样——所谓量产里程碑更多是Intel给自己18A找的信心背书。真正卡脖子的不是光刻机数量,而是视场减半后429mm2的面积天花板:AI芯片做不大,High NA就只是昂贵的玩具。6x12英寸光罩2033年才量产,远水解不了近渴,这几年代际竞赛的门票,Intel怕是只能靠18A先赌一把翻身。

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